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高真空度等級適用型傳感器［GN系列］

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更新時間：2021-09-07 11:26:16瀏覽次數：279次

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僅用低排氣零件生產的高真空環境專用定位傳感器。 在真空蒸鍍裝置、濺鍍裝置內的晶片、掩膜定位用途中，廣泛為大型半導體生產設備制造商所采用。

機型一覽

代表型號名稱 動作形態 電線方向 下載
GN-PT5M3A A : NO 直型
產品目錄
（PDF）
2D CAD
GN-PT5M3B B : NC
GN-PT5M3A-R A : NO 直角(-R)
GN-PT5M3B-R B : NC

電氣規格｜ 選購件／使用注意事項｜ 技術指南

主要規格

接點構造 接點型
動作形態 A : NO /B：NC
動作點的重復精度 ON?OFF均為0.003mm（范圍）常溫使用時的數值
適用真空度／容許烘焙溫度 10-5Pa　／　120℃
預行程 無（請用信號的切換點調整傳感器的安裝位置）
遲滯 0
機械壽命 300萬次
行程 1.5mm
接觸力 0.5N
接點額定值 DC5V～DC24V　穩態電流10mA以下（沖擊電流20mA以下）

應用

真空室

檢測有無半導體晶片

 

真空制膜裝置

玻璃基板的定位確認

 

太陽能發電（PV）真空裝置

玻璃基板的定位確認

 

FPD真空制膜裝置

玻璃基板的對準

 

FPD真空制膜裝置

掩膜托盤的就位檢測

 

FPD真空制膜裝置

載體的起動確認

 

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