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超小型高精度PT-接觸式傳感器［PT系列］

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更新時間：2021-09-07 11:28:42瀏覽次數(shù)：282次

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超小型的精密定位傳感器。 可直接嵌入半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置/汽車生產(chǎn)/模具/醫(yī)療設(shè)備等有限的安裝空間，實(shí)現(xiàn)機(jī)械的小型化。

特點(diǎn)

超小型的尺寸，可實(shí)現(xiàn)機(jī)械的小型化

外徑5mm×全長17mm，超小型的精密定位傳感器。

用于半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置XY軸滑臺的平衡定位等有限空間的內(nèi)”精密定位”、”原點(diǎn)定位”。

1微米的復(fù)重精度，300萬次的耐久性!!

采用(無需放大器)的”精密機(jī)械式”，無外部環(huán)境、自發(fā)熱而導(dǎo)致的溫度漂移，可穩(wěn)定輸出高精度的位置信號。

雖然是小型機(jī)械式，卻具有300萬次的機(jī)械和電氣耐久性。

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