產品特點

2. 對于各種表面結構，放大倍率及零件高度，可以實現小于 1 納米到 20000 微米范圍的測量，可測量各種材質表面，包括光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和臺階面等。

3. NewView 9000 系列提供三種配置。帶 3 個目鏡切換器的NewView 9000 系統。

技術參數

垂直掃描范圍	150um 壓電陶瓷驅動，20mm 擴展掃描
重復性	＜0.08nm
RMS 重復性	0.008nm
橫向分辨 空間采樣	0.34um(100X 物鏡) 0.04um(100x 物鏡，2 倍zoom)
掃描速度	171um/s
臺階測量 線性度	重復性 ≤ 0.1% 小于 20nm 或者 0.1%

測試軟件

典型的 MX 數據分析界面

產品應用

1.測量次納米表面形貌

2.機械加工中的應用

測試實例

1.表面粗糙度測量

2.更快的拼接大尺寸樣品平面度

3.區域分析

4.微觀表面結構分析

5.劃痕分析

產品資料下載

產品介紹-Newview9000

美國ZYGO公司三維非接觸式表面輪廓儀-NexviewNX2

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MST+633nm介紹-4inch