TC-Wafer高低溫探針臺高精度晶圓測溫系統

高低溫探針臺的重要性

      高低溫探針臺是一種能夠在不同溫度條件下對晶圓進行測試的設備。在晶圓制造的各個階段，溫度的變化都會影響到器件的性能和穩定性。

高低溫探針臺通過使用高精度的溫度傳感器，能夠在不同的溫度范圍內實時測量晶圓的溫度。

市面上典型的晶圓高低溫測試通常涵蓋溫度范圍從 -45°C 至 150°C，而在晶圓可靠性測試中，溫度可能高達 300°C。然而，隨著探針臺進行溫度變化，由于熱膨脹和冷收縮效應，探針與卡盤之間可能會出現熱漂移，從而影響探針與 PAD 點之間的對準，增加晶圓探針測試的難度。更有一些晶圓測試要求在**溫度環境下，甚至達到 500°C 以上。隨著溫度的升高，探針臺也將面臨更大的溫度范圍測試壓力。

      智測電子TC-Wafer高低溫探針臺高精度晶圓測溫系統應用于高低溫晶圓探針臺，測量精度可達mk級別，可以多區測量晶圓特定位置的溫度真實值，也可以精準描繪晶圓整體的溫度分布情況，還可以監控半導體設備控溫過程中晶圓發生的溫度變化，了解升溫、降溫以及恒溫過程中設備的有效性。致力于泛半導體**傳感器制造商的研發和制造，產品用戶包含國內半導體設備商和芯片制造廠等。

智測電子還提供整個實驗室過程的有線溫度計量，保證溫度傳感器的長期測量精度。

合肥智測電子致力于高精度溫測、溫控設備的生產和研發定制，為半導體設備提供可靠的國產解決方案。

TC-Wafer高低溫探針臺高精度晶圓測溫系統