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詳細介紹
XD激光干涉儀技術綜述：
1D激光主要可以測量定位誤差
3D激光可以測量定位誤差、直線度誤差（雙向）
5D/6D激光可以測量定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動角
主要特點
- 同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角
- 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器
- 可選的無線遙控傳感器zui長的控制距離可到25米
- 可測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性。
- 設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架
- 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調整步驟，減少了調整時間
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