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IFOX系列自動化光學晶圓檢測設備

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更新時間：2023-03-09 18:48:44瀏覽次數：716次

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主要特點：1、成像質量:使用的相機技術以實現超快速度且極小像差的掃描2、量測集成包：大族激光是使用量測集成包的公司



主要特點：

1、成像質量:使用的相機技術以實現超快速度且極小像差的掃描

2、量測集成包：大族激光是使用量測集成包的公司，能夠以一種簡單方便的方式創建一個快速的量測方案

3、光學系統:使用自主*的大視野顯微鏡，配有高級照明系統和即時聚焦技術

4、缺陷查找：使用*的智能缺陷算法以克服制程工藝帶來的變異

5、直線高精電機，XYZ平臺, 100納米分辨率

6、機械結構200納米精度

7、潔凈化設計 (運動平臺在晶圓下側)

8、浮式基座平臺減小設備震動影響



主要參數:


性能參數.jpg




加工效果：


12寸半自動刀輪設備.png 


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