當前位置:大族激光科技產業集團股份有限公司>>LED行業>> DSI-L-LB1116全自動裂片機
主要特點:
設備特點:
1、廣角輪廓相機進行輪廓識別,上料無需區分全、破片,極大節省作業時間
2、一鍵自動換刀操作簡便,換刀后裂片刀深幾乎不變
3、高精度CCD相機進行全自動水平修正及位置修正,自動識別殘片與整片,定位首道下刀位置
4、可分區域設置擊錘力度補償,長度補償,手動補劈功能等
5、自動保存生產記錄,自動掃碼進行裂片參數調檔作業
6、全自動點檢劈刀和受臺水平,進行位置自動校正
7、多種劈裂模式可選擇,自動劈裂(順劈、逆劈、邊緣劈裂、中間劈裂、跳劈)或手動劈裂
8、可加工2寸、4寸和6寸片(定制配置)
9、敲擊擊錘損壞自動檢測,劈刀磨損自動檢測
主要參數:
主要參數 | 加工尺寸 | 2寸-6寸晶圓 |
加工速度 | 約2刀/s | |
加工精度 | ±3μm | |
平臺參數 | X/Y行程 155*158mm | |
稼動率 | 0.95 | |
重大故障間隙時間 | 1000H | |
良率 | ≥99.5% | |
劈刀 | 角度75度,刀長165mm,直線度0.008μm | |
受臺平面度 | ≤5μm | |
Y軸 | 行程:158mm; 直線度:±5 μm; 重復定位精度:±1μm | |
下CCD X軸 | 行程:155mm; 直線度:±5 μm; 重復定位精度:±1μm; | |
旋轉Z軸 | 回轉角度:120°; 最小分辨率0.005°; | |
劈刀升降F軸 | 行程:55mm; 直線度:±5 μm; 重復定位精度:±1 μm; |
加工效果:
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