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參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)DSI-N-ASWafer
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地
聯(lián)系方式:市場部查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間:2022-01-13 15:22:28瀏覽次數(shù):783次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 機(jī)床商務(wù)網(wǎng)IFOX系列自動(dòng)化光學(xué)晶圓檢測設(shè)備
主要特點(diǎn):
設(shè)備特點(diǎn):
1、使用的相機(jī)技術(shù)以實(shí)現(xiàn)超快速度且極小像差的掃描
2、使用自主*的大視野顯微鏡,配有高級(jí)照明系統(tǒng)和即時(shí)聚焦技術(shù)
3、使用*的智能缺陷算法以克服制程工藝帶來的變異
4、大族是使用量測集成包的公司,能夠以一種簡單方便的方式創(chuàng)建一個(gè)快速的量測方案
主要參數(shù):
主要參數(shù) | 加工尺寸 | 8"/12" |
加工速度 | 200mm/S | |
加工精度 | 可檢2μm以上缺陷 | |
平臺(tái)參數(shù) | ±1μm | |
Tact time | 5X物鏡檢測8"晶圓WPH>50 | |
稼動(dòng)率 | >0.97 | |
重大故障間隙時(shí)間 | >1000H | |
良率 | 過檢<3%,漏檢<0.3% |
加工效果:
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