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當(dāng)前位置：大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司>>半導(dǎo)體行業(yè)>> DSI-S-TC9211硅晶圓改質(zhì)切割設(shè)備
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)DSI-S-TC9211
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地
聯(lián)系方式：市場(chǎng)部查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2022-01-13 15:10:28瀏覽次數(shù)：1039次
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IFOX系列自動(dòng)化光學(xué)晶圓檢測(cè)設(shè)備
主要特點(diǎn)：
設(shè)備特點(diǎn)：
1、特制激光系統(tǒng)
2、優(yōu)異的切割效果
3、全自動(dòng)生產(chǎn)
4、高精度視覺(jué)系統(tǒng)； 自動(dòng)對(duì)位，自動(dòng)尋焦；高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
5、兼容4/6inch生產(chǎn)
6、SECS GEM標(biāo)準(zhǔn)接口
主要參數(shù):
| 主要參數(shù) | 加工尺寸 | 6inch、8inch、12inch |
| 加工速度 | 400-1000mm/s | |
| 加工精度 | ±1μm | |
| 平臺(tái)參數(shù) | 行程300mm×300mm 重復(fù)定位精度±0.001mm | |
| 激光器參數(shù) | 紅外 | |
| 稼動(dòng)率 | 98%以上 | |
| 重大故障間隙時(shí)間 | ＞1000H | |
| 良率 | ≥99.5% |
加工效果：
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