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| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地
聯(lián)系方式：市場部查看聯(lián)系方式
更新時間：2021-12-01 14:00:14瀏覽次數(shù)：683次
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自動裝載→產(chǎn)品引到真空室→關(guān)閉真空室及抽真空度→前處理→真空清洗→產(chǎn)品推出→卸載
| 電極配置和氣體流量 | |
| 保證良好的氣體流動系統(tǒng)及均勻的等離子體生成系統(tǒng) | |
| 通過強力排氣及消除污染，*消除殘留物 | |
| 射頻發(fā)生器 | |
| 頻率 | 13.56Hz |
| 輸出功率 | １０００W Max |
| 配備自動匹配系統(tǒng)以大限度地減少反射功率 | |
| 真空系統(tǒng) | |
| 真空干泵/油泵 | |
| 安全 | |
| 緊急停止按鈕,關(guān)閉所有功率和氣體流量 | |
| 射頻發(fā)生器互鎖 | |
| 室門關(guān)閉檢測 | |
| 安全玻璃檢查觀點 | |
| 電磁輻射抑制 | |
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