LE系列激光光柵尺以高度穩(wěn)定的激光波長為基準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)了高精度，高分辨率的直線位移測量。LE系列激光尺可以實(shí)現(xiàn)長達(dá)20米的精確測量，比傳統(tǒng)的光柵尺在長距離應(yīng)用上有突出的成本優(yōu)勢。

產(chǎn)品特點(diǎn)

測量距離長，LE系列激光尺測量系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)20m的測量。測量精度高，LE系列激光尺測量系統(tǒng)在中小型龍門機(jī)床的工作臺軸應(yīng)用中能夠?qū)崿F(xiàn)士0.5um/m的精度。

應(yīng)用領(lǐng)域

精密機(jī)床；半導(dǎo)體精密加工設(shè)備；測量機(jī)等其他需要高精度直線位置反饋的應(yīng)用場合。

應(yīng)用案例

科德數(shù)控股份有限公司生產(chǎn)的KGHM2560U高速橋式龍門機(jī)床，X軸全行程6m，配置LE系列激光尺作為全閉環(huán)反饋，定位精度達(dá)到6um，重復(fù)定位精度達(dá)到3um。

LE系列激光光柵尺技術(shù)參數(shù)表：