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活動專題 【機床商務網欄目 名企在線】近日，匯專超聲綠色機床持續批量出貨，發往華南地區半導體行業先進材料提供商客戶。
客戶作為全球先進材料提供商，其需求在于針對不同材料半導體器件進行鉆孔和銑削加工，并實現高精度、高效率的加工效果。超聲高效精密雕銑中心憑借高精、高速和一機多用的獨特優勢，得到客戶的高度認可。
該加工中心X/Y/Z軸定位精度為6μm、重復定位精度達4μm；主軸最高轉速40,000rpm；配置匯專自主研發的超聲加工系統；可實現一機多用，滿足硬脆材料(陶瓷、藍寶石、玻璃、單晶硅、碳化硅)、復合材料工件和小零件的高光、微小孔超聲加工需求，同時滿足鋁合金、不銹鋼等金屬材料的高速、高精密加工。能夠幫助客戶提升加工效率、降低設備成本并帶來更卓越的加工效果。
超聲高效精密雕銑中心ULM-600
主要特點：
一機多用，可滿足硬脆材料、復合材料、高光加工、小零件加工、微小孔加工的加工需求
可配置不同型號超聲主軸(HSK-E32/HSK-E40/HSK-A63)，最高轉速達40,000rpm
可配置超臨界CO2低溫冷卻系統、微量潤滑(MQL)內冷系統實現清潔加工
可選配雙刀庫，滿足不同加工需求
可搭配五軸轉臺，可實現五軸定位加工、五軸聯動加工，滿足工序集約化和復雜曲面零件的加工需求
標配華中918D系統，可選配西門子828D系統
創新技術加持，突破硬脆材料加工難題
匯專超聲綠色系列機床是全球率先將超聲技術和綠色技術兩大創新技術有機融合，成功突破硬脆性材料、難切削金屬材料和復合材料加工難題的高端數控機床。
就半導體行業加工而言，半導體器件的材料通常為單晶硅、石英玻璃、碳化硅、陶瓷、石墨、鋁合金等硬脆性材料和難切削金屬材料，主要的加工工藝以微小孔加工、表面銑削加工、型腔銑削加工為主，同時對加工精度及表面質量要求極高，普通機床難以滿足加工要求。經過大量的實驗測試及市場驗證，匯專超聲綠色系列機床針對上述硬脆性材料的微小孔及銑削加工，優勢顯著，在半導體行業知名客戶中廣泛應用。
其中，機床配置的超聲輔助加工系統，在加工過程中，通過將高頻電能轉變為機械振動，在刀具旋轉加工的同時施加每秒16-60kHz的振動，使刀具與工件產生周期性分離，提高加工穩定性的同時促進排屑，有效提升加工效率、改善工件表面質量。
綠色技術(微量潤滑MQL技術/超臨界CO2低溫冷卻技術)的應用則取代傳統切削液，通過微米級油霧或-78°低溫技術，對刀具與加工部位進行精準冷卻潤滑，有效降低切削熱、減少刀具磨損、延長刀具壽命。
成功案例
01
單晶硅噴淋盤微孔加工
零部件名稱：噴淋盤
加工材料：單晶硅
加工特征：D0.48x18mm
客戶加工痛點：
× 傳統方案無法加工深孔
匯專解決方案：
+ 匯專超聲高效精密雕銑中心ULM-600
+ 匯專超聲加工系統
+ 匯專整體PCD微鉆
匯專加工優勢：
+ 孔入口崩缺<0.05mm
+ 孔位置度＜0.01mm
+ 實現D0.48x18mm微孔加工(深徑比37.5:1)
+ 鉆頭壽命可穩定達1,000+個孔
02
單晶硅噴淋盤51:1超深微孔加工
工件材料：單晶硅
工件尺寸：50x60x23mm
加工特征：D0.45x23mm盲孔均布精加工
客戶加工痛點：
× 客戶無成熟加工方案加工此種超深微孔
× 孔壁粗糙度僅Ra6.54μm
× 孔真圓度僅0.025mm
匯專解決方案：
+ 匯專超聲高效精密雕銑中心ULM-600
+ 匯專超聲加工系統
+ 匯專整體PCD鉆頭
匯專加工優勢：
+ PCD鉆頭可連續加工1000+個D0.45x23mm的超深微孔(深徑比 51:1)
+ 盲孔加工，入口處目視無崩缺
+ 超聲加工孔壁粗糙度Ra 0.088μm，比傳統加工粗糙度降低99%
+ 孔真圓度達0.003mm
03
石英玻璃多面棱鏡加工
材料：石英玻璃
尺寸：16x16x10mm
客戶原方案加工痛點：
× 粗糙度差，拋光余量大
× 尺寸精度要求高，依賴進口設備
匯專解決方案：
+ 匯專超聲高效五軸聯動加工中心ULV200-5AXIS
+ 匯專超聲加工系統
匯專加工優勢：
+ 超聲輔助加工降低切削力，有效提升加工效率
+ 加工表面可達鏡面級，粗糙度均勻，Sa<70nm，降低表面拋光后尺寸的控制難度
+ 解決卡脖子問題，實現國產化
04
氧化鋁噴淋盤鉆孔加工
零部件名稱：氧化鋁噴淋盤
材料硬度: HV1,400
加工特征：D0.5x3.2mm/D1x5.8mm
深徑比6:1
加工孔數 >750 (個)
客戶加工難點：
× 刀具壽命低
匯專解決方案：
+ 匯專超聲高效精密雕銑中心ULM-400
+ 匯專超聲加工系統&熱縮刀柄
+ 匯專整體PCD鉆頭
匯專加工優勢：
+ 刀具壽命提升34%以上
持續深耕，推動半導體行業高質量發展
半導體產業作為現代化信息技術的基石，對推動全球經濟發展和保障國家安全具有重要意義。各國政府也都在積極投入資金、制定政策以促進半導體產業的發展。未來，隨著科技水平的提高以及半導體產業規模的不斷擴大，半導體器件的機械加工要求也將越來越高。匯專將不斷加強技術創新和研發投入，在超聲綠色數控機床領域深耕細作，以獨特的超聲綠色技術引領半導體精密零件加工技術升級，推動半導體行業的高質量發展。
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