1.反向越沖

反向越沖的產生，是由于當機床某一個軸向某一方向驅動，然后必須向相反方向反向移動時，該軸驅動電機施加的扭矩不夠，造成在換向處由于摩擦力的方向發生改變而出現短時的粘性停頓。反向越沖將使圓弧插補刀具軌跡出現一個小平臺后再向原軌跡復位的臺階。在圖形上表現為：在某軸上有一小尖峰，尖峰大小隨機床進給率的不同而變化。

2.反向間隙

當機床某一軸出現絲杠磨損、螺母損壞或導軌磨損等情況時，會導致滾珠絲杠中扭曲過大而引起反向間隙。反向間隙在球桿儀檢測圖形中表現為：在沿某軸線處有沿圖形中心外凸(正值)或內凹(負值)的一個或數個臺階，其大小通常不受機床進給率的影響。

3.伺服不匹配

如果用球桿儀檢測圓度誤差時診斷出伺服不匹配，表明機床的一根軸超前于另一軸。根據不同被測軸間的關系，伺服不匹配可能為正，也可能為負。以XY平面為例，若為正值,則說明Y軸超前于X軸,為負值則相反。超前軸的增益較高。

4.比例不匹配

比例不匹配誤差是指在測試中被測量軸間的行程差，例如，機床在XY平面內運行一個圓周，理論上X軸和Y軸運行的距離應*相同。如果有不同，兩軸間運動位置差就是比例不匹配誤差。如果給出比例不匹配的值為正值，那么X軸移動距離超過Y軸。否則相反。

5.垂直度

垂直度誤差是因為被測試機床的X軸和Y軸相互間不為90度，兩軸可能有局部彎曲或機床軸可能整體未調直、機床軸可能剛性不夠導致某些部位不直、或者機床導軌可能過分磨損導致機床在運動時軸中有一定間隙。