為進(jìn)一步提高超精密單點(diǎn)金剛石車床的加工水平及精度，小編從以下五個方面分析了影響加工精度的因素：

1、單點(diǎn)金剛石機(jī)床設(shè)備

單點(diǎn)金剛石超精密機(jī)床是實現(xiàn)超精密切削的首要條件，要想獲得較高的加工精度和表面品質(zhì)，就需 要高精度的單點(diǎn)金剛石機(jī)床。單點(diǎn)金剛石機(jī)床的總體精度是機(jī)床各組成部分（如主軸、導(dǎo)軌、床身、傳動系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等等）精度的綜合體現(xiàn)。機(jī)床主軸的回轉(zhuǎn)精度是超精密單點(diǎn)金剛石機(jī)床的一個重要精度指標(biāo)。隨著對傳統(tǒng)機(jī)床主要部件的精化以及一些*的應(yīng)用，如新型的磨擦驅(qū)動方式、可實現(xiàn)納米級定位進(jìn)給裝置、主軸的運(yùn)動誤差分析和補(bǔ)償技術(shù)，使單點(diǎn)金剛石機(jī)床的精度有了較大幅度的提高。同時，為了保證機(jī)床精度的長期穩(wěn)定性，用于制造單點(diǎn)金剛石機(jī)床床身的材料需要具有較低的熱膨脹系數(shù)和較高的尺寸穩(wěn)定性。 目前，常用的Ｎａｎｏｆｏｒｍ２５０機(jī)床是具有*水平的商用單點(diǎn)金剛石車床，其采用氣浮主軸以保證主軸運(yùn)行平穩(wěn)，靠油壓導(dǎo)軌保證導(dǎo)軌的平穩(wěn)運(yùn)動，并用花崗巖做機(jī)床底座以保證機(jī)床的熱穩(wěn)定性和剛性，氣墊隔震，zui大加工直徑為３００ｍｍ。

2、加工環(huán)境 

超精密切削必須在超穩(wěn)定的加工環(huán)境中進(jìn)行，加工環(huán)境的極微小變化都可能影響加工精度。一般超精密環(huán)境條件主要指防振、恒溫和超凈三個方面的條件，具體如下： 

（１）為提高超精密切削系統(tǒng)的動態(tài)穩(wěn)定性，除了在機(jī)床設(shè)計和制造上采取各種措施外，還必須采用隔震系統(tǒng)保證機(jī)床不受或小受外界振動的影響。例如美國ＤＴＭ－３型金剛石車床就使用了空氣彈簧隔振系統(tǒng)，隔振后軸承部件的相對振幅為２ｎｍ，并可防止１．５￣２Ｈｚ的外界振動的傳入。 
（２）在類似車削大口徑鍺透鏡的加工時，加工系統(tǒng)和工件的熱變形對加工精度有很明顯的影響。實踐證明即使尺寸變化，其方向剛好在精度的敏感方向上，影響就很嚴(yán)重了。因此為了保證加工精度，必須將加工置于多層恒溫條件下進(jìn)行，即不僅放置機(jī)床的房間恒溫，還對機(jī)床采取特殊的恒溫措施。 
（３）空氣中的塵?？赡芘K加工表面，給清洗帶來麻煩，并且如果塵埃的尺寸足夠大，也可能造成加工表面的劃傷（尤其對軟金屬），從而損壞已加工表面品質(zhì)，因此單點(diǎn)金剛石超精密切削還須有超凈化的環(huán)境。 

3、加工工件的材料 

應(yīng)用于紅外光學(xué)的單晶鍺、單晶硅等脆性材料一 直被認(rèn)為是 “不可以用金剛石切削”的材料，因為在普通切削條件下，金剛石刀具磨損極快，無法保證加工所需精度。zui早成功實現(xiàn)金剛石超精密切削的工件材料的有銅合金、鋁合金、非電解鎳及金、銀等韌性材料。目前在特定的條件下，也實現(xiàn)了對脆性的金剛石切削，并應(yīng)用于生產(chǎn)。實踐證明，使用液氮將金剛石刀尖和工件表面的溫度控制在１５０Ｋ，可抑制金剛石刀具磨損，使切削表面的粗糙度達(dá)到Ｒａ０．０２５ｍ。然而，即使是對可加工性良好的材料，由于材料的微觀缺陷，如雜質(zhì)和沉積物等，也會對加工表面的品質(zhì)帶來影響。 大量的實驗研究工作已經(jīng)表明單點(diǎn)金剛石切削中的許多物理現(xiàn)象，如切削力的波動等都與工件材料的晶體取向有關(guān)，所以為了進(jìn)一步認(rèn)識單點(diǎn)金剛石超精密切削的形成機(jī)理，提高已加工表面品質(zhì)，迫切需要從微觀的角度來研究剪切角、切削力與工件材料晶體取向之間的關(guān)系。

4、金剛石刀具品質(zhì)的影響 

天然單晶金剛石由于其*的硬度、優(yōu)良的耐磨性、導(dǎo)熱性和化學(xué)穩(wěn)定性，加之和有色金屬的磨擦系數(shù)比較低，親合力小，還有zui為重要的一點(diǎn)，即由其晶體結(jié)構(gòu)本身所決定的可磨出極鋒利的刃口和光潔度*的刀面，因此，一致被*為的超精密切削用刀材料。 由于在超精密切削中，機(jī)床的精度很高，這時所能達(dá)到的加工精度主要取決于實際zui小切削深度。金剛石刀具的刃口鋒利度是影響zui小切削深度的基本因素，刀具刃口半徑越小，可實現(xiàn)的zui小切深越小，切削變形就越小，可能達(dá)到的加工精度和表面品 質(zhì)就越高。對于金剛石刀具來說， 不但要求刃口極鋒利，而且對切削刃的幾何形狀精度也有較高的要求，在制造刀具時，必須采用高精度的測量技術(shù)，嚴(yán)格控制刀具的刃口半徑和幾何形狀。據(jù)相關(guān)資料說明，研磨品質(zhì)特別好的金剛石刀具，其刃口半徑可達(dá)到納米級水平；對于其幾何形狀，刃口直線度可達(dá)０．０３μｍ，對圓弧刃刀具，輪廓精度可達(dá)０．０５μｍ。２．５切削參數(shù)的影響 有了超高精度的機(jī)床和加工環(huán)境，加上高品質(zhì)的金剛石刀具和可加工材料，如果切削參數(shù)選擇不當(dāng)，也難以得到高品質(zhì)的加工表面。以紅外光學(xué)zui常用的單晶鍺為例，實驗結(jié)果表明，改變切削速度，加工表面的粗糙度變化不大；而進(jìn)給量對加工表面品質(zhì)的影響較大，進(jìn)給量越大表面品質(zhì)越差。