平面磨床工作臺有爬行或速度超差的故障原因及排除方法如下：
　　
　　（1）精密平面磨床的液壓缸、活塞桿上側母線與床身導軌、工作臺導軌的平行度超差。應按裝配要求校正液壓缸、活塞桿上側母線與床身、工作臺導軌的平行度誤差。
　　
　　（2）液壓缸磨損變形。應珩磨修復或更換液壓缸。
　　
　　（3）床身、工作臺導軌磨損或配刮接觸點不均勻，接觸點數過少。應檢查床身，工作臺導軌的接觸點及表面粗糙度，要求：刮削接觸點＞16點/（25mm×25mm），表面粗糙度值達Ra1.6μm。
　　
　　（4）活塞與液壓缸間隙過大，有滲漏。應配作活塞，要求與液壓缸間隙在0.04~0.06mm之間。
　　
　　（5）換向閥磨損，有泄漏。應檢查換向閥、閥孔的磨損，作相應的修復或更換。
　　
　　（6）液壓系統內進入空氣。應排除系統內的空氣，各管接頭處避免空氣進入。