?超聲波清洗機(jī)的QDR是怎樣實(shí)現(xiàn)的

一、噴灑清洗

?超聲波清洗機(jī)?上噴淋管路一共有雙路，產(chǎn)生互相交叉式噴灑，但去離子水不適合立即噴灑清洗晶圓表面，因晶圓在切溝作用下立即噴灑晶圓表面，易產(chǎn)生顆粒淤泥而環(huán)境污染晶圓表面，因而，在去離子水的噴灑環(huán)節(jié)中，必須對清洗壓力、水流量、方向和視角作出調(diào)整檢測，以達(dá)到顆粒環(huán)境污染少不錯(cuò)實(shí)際效果。較好的噴頭所噴灑范疇包含所有晶圓及片盒；而不良噴灑清洗樣子，并沒有包含所有晶圓及片盒，沒被噴灑清洗的盲區(qū)地段，顆粒、殘?jiān)坝袡C(jī)化學(xué)藥水殘余成分依然非常高，而無法達(dá)到較好的清洗實(shí)際效果。

?

?超聲波清洗機(jī)的QDR是怎樣實(shí)現(xiàn)的?

二、鼓泡游泳清洗

上噴灑與此同時(shí)，下噴淋管路由器底端兩邊持續(xù)滲水，然后由內(nèi)槽上沿四周外溢，那樣，每一個(gè)晶圓片縫、各個(gè)地方邊緣的去離子水都可以持續(xù)獲得升級。與此同時(shí)，純粹汽體（氫氣或空氣壓縮）自下噴淋管路進(jìn)到干燥槽。鼓泡有以下幾個(gè)功效：

（1）增強(qiáng)了去離子水的侵蝕力，對干燥槽自身有非常好的自清洗功效；

（2）晶圓在流水中晃動(dòng)，汽泡不可以沾附其上，提升了清洗實(shí)際效果；

（3）N2鼓泡降低去離子水里的氧氣含量，避免在晶圓表面形成金屬氧化物。

三、超聲波清洗

QDR增強(qiáng)了超聲波作用選擇項(xiàng)，與鼓泡游泳清洗更替功效，極大提升了清洗高效率，并進(jìn)一步降低DI水使用量。最典型的運(yùn)用方法是什么：上噴灑+排出→上噴灑+下滲水→超聲波+上噴灑+溢流式→鼓泡+上噴灑+溢流式→快排出

四、快沖快排

噴灑灌滿水時(shí)間與排水管道時(shí)長，對晶圓清洗品質(zhì)有很大影響。因晶圓表面暴露在空氣中會(huì)觸碰空氣中的氧原子或水蒸氣，在常溫狀態(tài)，即會(huì)生長發(fā)育一層薄薄的氧化層（大約為0.5~1nm），這層當(dāng)然金屬氧化物厚度與暴露在空氣中的時(shí)間長短有關(guān)系，因而，噴灑灌滿水時(shí)間越久，晶圓暴露在空氣中的時(shí)間也也就越長，因此所形成的氧化層也越厚，那對晶圓清洗，是很不利的。QDR排水管道的時(shí)間也越少，排水管道流動(dòng)速度就會(huì)越大，有益于去離子水帶去晶圓表面里的顆粒殘?jiān)Ｒ蚨赒DR設(shè)計(jì)里，要盡可能的減少噴灑灌滿水時(shí)間與排水管道時(shí)長，完成快沖，總體高效率也會(huì)得到提升。超聲波的QDR及灌水時(shí)長指標(biāo)值為：引入時(shí)長：≤120秒，排出時(shí)長：≤12秒。