1．激光器
    激光器由激光光源、光泵、聚光器和諧振腔組成，應用于加工的激光器主要有：
   （l）固體激光器   具有穩定性好的特點，但能量效率低一般＜3％，由于輸出能量小，主要用于打孔和點焊及薄板的切割。（摻釹釔化鋁石榴石）等作為工作物質。YAG是固體激光中能發出功率的離子激光。YAG的結晶母材是由釔、鋁和石榴石構成的，其中微量的釹離子剛起激光作用。YAG的激光波長為1.06μm，相當于二氧化碳氣體激光坤長的1/10。它的綠色的激光束可在脈沖或連續波的情況下應用，具有波長短、聚光性好適于精密加工特別是在脈沖下進行孔加工有效，也可用于切削、焊接和光刻等。且由于聚光性好，可通過光導纖維傳格能量，適用于內腔加工等特定切合，其能量效率不及CO2氣體激光源最多不超過3％，目前產品的輸出功率大多在600W以下，已達4kW。另一種紅寶石激光源的波長更短為0.69μm，穩定性好，但能量效率0.1％～0.3％，主要用于打孔和點焊。
    2）光泵是使工作物質發生粒子反轉產生受激輻射的激勵光源，因此光泵的發射光譜應與工作物質的吸收光譜相匹配。常用的光泵有脈沖氙燈和氪燈，脈沖氙燈的發光強度和頻率較高，適用于脈沖工作的團體激光器，而氪燈的發光光譜能與YAG的吸收光譜很好匹配，是YAG連續激光器的理想光泵。為改善照射的均勻性，光泵可用雙燈（如圖l所示的件3有上、下兩個）、三燈或四燈。  
    3）聚光器罩在光泵的外圍，它是把光泵發生的光有效地、均勻地集中到工作物質上。聚光器中常用的是圓柱聚光器和橢圓聚光器，也有球形、橢球和緊包形的聚光器。其要求為聚光均勻、散熱好、結構簡單、內壁反射率高，表面粗糙度Rα0.04μm以下，通常聚光效率達80％。
    4）諧振腔是光學反饋元件，它的作用是位光放大介質產生光振蕩。其類型對激光輸出能量和發散角有很大影響，常用的平行平面諧振腔由圖l中反射鏡1與4組成，諧振腔的長度為激光半波長的整倍數，反射鏡平行度＜10"。
   （2）氣體激光器   常用的工作物質有分子激光的二氧化碳（CO2）和離子激光的氬氣（Ar），后者輸出功率為25W，它的10ns級短脈沖，使熱影響區小，用于半導體、陶瓷和有機物的高精度微細加工。而CO2激光器的功率在連續方式工作時可達45kW，脈沖式可達5kW，故在加工中應用。
    1）CO2氣體激光器的波長為10.6μm，處于紅外線領域，因而其激光束為不可見光。它是在氦的體積分數約80％，氮的體積分數約15％和CO2的體積分數約5％的混合氣體中進行放電形成粒子數反轉的分子激光。它的能量效率通常為5％～10%高效裝置甚至可達10％～15％。CO2激光器的工作原理圖如圖2所示。
    2）氣體激光的激勵雖也可用光泵的方法，但大多用直流放電（圖2）或高頻放電的方式。
    3）諸振腔由放電管兩端的鏡面構成，一端是鍍金凹鏡，另一端是鍺或砷化鎵平鏡，它們也兼作密封之用。
    CO2激光器的輸出功率與放電管的長度成正比，低速軸流式的氣體流速慢，輸出功率小，約50～70W/m，但其輸出功率穩定，易得到單模，一般用于百瓦級激光器。對于千瓦級的CO2激光器則采用氣體循環速度達100m/s的高速軸流式的激光器或氣流及放電與激光光軸垂直的雙軸直交型以及氣流、放電與激光光軸三者互相垂直的三軸直交型可達到使激光器小型化。

    2. 見慣系統
    其作用是把激光束通過光學系統精確地聚焦至工件上大放具有調節焦點位置和觀察顯示的功能。CO2激光器輸出的是紅外線，故要用鍺單晶、砷化鎵等紅外材料制造的光學透鏡才能通過。為減少表面反射需鍍增速膜。圖3為應用于CO2激光切割機的透射式聚焦系統。圖中在光束出口處裝有噴吹氧氣、壓縮空氣或惰性氣體N2的噴嘴，用以提高切割速度和切口的平整光潔。工作臺用抽真空方法使薄板工件能緊貼在臺面上。

    3．電氣系統
    電氣系統包括激光器電源和控制系統兩部分，其作用是供給激光器能量（固體激光器的光泵或CO2激光器的高壓直流電源）和輸出方式（如連續或脈沖、重復頻率等）進行控制。此外，工件或激光束的移動大多采用CNC控制。
    為了實現聚焦點位置的自動調整，尤其當激光切割的工件表面不平整時，需采用焦點自動跟蹤的控制系統。