全站儀是人們在角度測量自動化的過程中應運而生的，各類電子經緯儀在各種測繪作業中起著巨大的作用。全站儀的發展經歷了從組合式即光電測距儀與光學經緯儀組合，或光電測距儀與電子經緯儀組合，到整體式即將光電測距儀的光波發射接收系統的光軸和經緯儀的視準軸組合為同軸的整體式全站儀等幾個階段。整體型（Integral）隨著電子測距儀進一步的輕巧化，現代的全站儀大都把測距，測角和記錄單元在光學、機械等方面設計成一個不可分割的整體，其中測距儀的發射軸、接收軸和望遠鏡的視準軸為同軸結構。這對保證較大垂直角條件下的距離測量精度非常有利。無合作目標性全站儀無合作目標型全站儀是指在無反射棱鏡的條件下，可對一般的目標直接測距的全站儀。因此，對不便安置反射棱鏡的目標進行測量，無合作目標型全站儀具有明顯優勢。如徠卡TCR系列全站儀，無合作目標距離測程可達1000m，可廣泛用于地籍測量，房產測量和施工測量等。

自動陀螺全站儀由陀螺儀GTA1000與無合作目標全站儀RTS812R5組成的自動陀螺全站儀能夠在20分鐘內，|最|高以±5″的精度測出真北方向。GTA1800R這款儀器實現了陀螺儀和全站儀的有機整合，GTA1000陀螺儀上架于RTS812R5系列全站儀。GTA1800R在全站儀的操作軟件里實現和陀螺儀的通訊輕松完成待測邊的定向。GTA1800R可以實現北方向的自動觀測，免去了人工觀測的勞動量和不確定性。同軸望遠鏡全站儀的望遠鏡實現了視準軸、測距光波的發射、接收光軸同軸化。同軸化的基本原理是：在望遠物鏡與調焦透鏡間設置分光棱鏡系統，通過該系統實現望遠鏡的多功能，即既可瞄準目標，使之成像于十字絲分劃板，進行角度測量。