半導體晶圓的線切割工藝
隨著半導體器件輕薄短小的發展趨勢以及器件集成度的增加,我們對半導體元器件的要求也越來越高,不但體積要有所縮小,精準度的要求也是在不斷提高,這將對半導體元器件在切割工藝上提出了更高的要求。因此,半導體的切割加工工藝也在不斷完善,如何減少切割時對半導體邊緣崩裂的風險,以及減少廢料的產生,提高生產效益成為半導體新型加工工藝的主要方向。下面我們來了解下半導體晶圓的線切割工藝特點:
1、切割效率高,降低了切割成本,對于高精度要求的半導體晶圓來講,減少切割損耗就是降低了切割成本;
2、單片切割成本低,一種金鋼線替代了傳統砂漿切割的碳化硅、懸浮液、鋼線,極大地降低了耗材成本;
3、品質受控,切割效果與金剛砂線的品質有很大的關系,選擇一家高質量的砂線廠家,就可以在供應商的數量與質量上有很好的控制,確保切割出來的效果;損耗降低, 因以固結的方式可以參與有效切割的金剛石較多,鍍層要比砂漿的混合體要小,刀縫損失也更少,生產加工過程成本的降低;
4、環保,在現中國的時代,工廠對于環保的認知還是太低了,砂漿的 COD達到幾十萬,而金鋼線切割液經過純水稀釋加切割液 COD在 200-1000,對于污水的處理也將大大提升。
當然,目前半導體晶圓的切割工藝有好多種,針對不同的切割對象,選擇適用的切割方式,不僅有助于提供切割速率,而且有利于減少甚至消除芯片邊緣的微損耗,提高芯片的斷裂強度,從而提高產品的可靠性。
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