大樣品臺白光輪廓儀Nexview™LS650
Nexview™LS650 大樣品臺白光干涉儀非常適合測量 尺寸大,重量大 的樣品,例如注塑透鏡的模具、大尺寸線路板、光學器件,以及機械零件等等。
LS650樣品臺尺寸及平移范圍,可達 650mm*650mm , 可以在這一范圍內實現拼接及腳本編程自動測量,具有亞納米級垂直分辨率。
各種白光輪廓儀表面紋理測試,常常需要量測尺寸大,重量大的樣品,例如:
· 大尺寸的電子線路板;
· 注塑透鏡的模具(如上圖);
· 高能激光應用中,大尺寸超光滑光學器件;
· 需要測試關鍵面的大尺寸機械零件;
· 有時被測樣品需要特殊夾持機構,需要占用的空間大,負重要求高,也需要高負重,大尺寸樣品臺的解決方案。
Nexview™LS650 系統基于ZYGO Nexview™NX2 測試頭,繼承了其高精度,高分辨率,良好環境適應性的優點。
LS650縱向分辨率優于0.1nm 埃級別,可以用于超光滑表面測量;LS650同樣也具有抗振掃描 SureScan™技術,可以良好適應生產環境的振動影響。
Nexview™LS650 采用龍門結構,配置650mm*650mm平移范圍的自動樣品臺;*大負重可達100KG,能良好適應大樣品及附屬夾具的尺寸,空間,和重量要求。
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