氣浮測量裝置是 微納加工技術與裝備實驗室自主的高精度氣浮測量裝置，用于精密光學器件和玻璃元件等精密元件的檢測，在超精密加工工藝中，對超精密器件的檢測是 超精密加工的重要組成部分。氣浮測量裝置總裝配效果。被測工件放置在大理石平臺上，因大理石平臺的平面度和光潔度達不到要求，造成檢測結果與實際結果偏差較大。為使測量精度盡可能高，在裝配的過程中，對各個部件間的配合精度要求會高，市場上外購的通過企業加工的大理石平臺的平面度和光潔度往往達不到設計時所需的要求，進而需要進一步手工精細研磨。

 　　環境對大理石研磨的影響主要指溫度和振動對其影響。在超精密加工和測量的過程中，對溫度和振動的要求。經過試驗分析，采用同一測量方法對大理石平尺(直線度2.5μm）在精密恒溫恒濕的實驗室中，在空調開啟前后的4h后分別進行測量，直線度相差3μm。

 　　振動如人的走動等都會對精密加工和檢測造成嚴重影響，本次研磨實驗中實驗室恒溫恒濕且大理石平臺周邊都經過地基處理來防止振動造成影響。

 　　大理石平臺研磨所需的材料

 　　1、研磨平臺

 　　研磨平臺是 一種能夠被研磨件的精度和表面光潔度，同時壓嵌在研磨劑上的平板研磨設備，實驗室采購的研磨平臺操作簡單、上砂快、嵌砂量足，打磨后，被研磨件光潔度顯著提高，被研磨件易得到所需的光潔度和平面度。

 　　2、磨料碳化硼

 　　研磨劑由磨料和研磨液調和而成。研磨液主要起到冷卻和潤滑的作用，常用煤油、汽油、甘油等。磨料碳化硼熔點為2350℃，硬度低于金剛石，高于剛玉和碳化硅，常用作精密大理石平臺的研磨。

 　　3、研磨和測量過程

 　　(1)將待研磨的花崗巖大理石平面用乙醇清洗棉紗布擦干，使大理石平面光潔。

 　　(2)大理石平面的尺寸1200mmX800mm，瑞士電子水平儀的固定長度為150mm,故在大理石平臺上以150mm為步長，用記號筆和鋼尺(其它也可，便于劃線)配合在大理石平面進行長度和寬度方向上進行網格劃分，網格劃分目的是 每次測量時準確放置水平儀的位置，特別注意記號筆不可用力刻畫大理石平面，以免人為傷到大理石平臺，使平面度精度降低，研磨加困難。

 　　(3)用電子水平儀按網格分別在長度和寬度方向上進行測量，一般先放置長度方向，完畢后軟件會提示放置寬度方向。在放置電子水平儀時找準網格參照，盡量使每次放置的位置相同，因為多次放置和測量可以減少人為的測量誤差。

 　　(4)在大理石的大平面上需要研磨的部分進行適當研磨，磨料碳化硼和研磨液甘油按適合比例混合形成研磨劑，研磨劑先均勻涂在大理石平臺上需要研磨的部分，然后用研磨平板進行研磨。在研磨的過程中分為粗研磨和精研磨過程，粗研磨過程中，因研磨量大，可以適當用力；在精研磨過程中，就要用力均勻研磨精度。同時局部研磨過程中使研磨平板的運動軌跡一直為8字型，這樣研磨同一性和尺寸一致性都好，不容易出現塌邊現象。

 　　(5)重復上面步驟1一步驟4，直至達到所需要的精度。

 　　通過研磨前后各項誤差對比發現，研磨平臺的多次研磨后，大理石平臺的平面度會取的較好的效果，要達到所需的微米級還有的難度，但實驗證明大理石平臺的的平面度和光潔度確有的提高。

 　　為達到測量裝置的裝配配合精度要求和滿足測量精度，該大理石平臺需要手工精磨，通過磨料碳化硼、研磨平臺、電子水平儀和與水平儀配合的軟件Wyler進行反復測量和研磨使平面度和光潔度的精度大大提高，較大化達到所需要的平面度精度要求。但在多次研磨和測量過程中大理石平臺的面積為1200mmX800mm研磨面積較大，易測量出平面度各項誤差，但多次手工研磨起來誤差難以。此次研磨實驗，平面度和光潔度有所提高，拘于實驗室現有條件和研磨人員的技術能力，手工研磨達到微米級要求仍有差距，但為大理石平臺的研磨提供一種方法借鑒。

 　　精密大理石工作臺硬度比鑄鐵高2－3倍(相當於hrc＞51)，精密大理石工作臺特別適用于高精度的測量方面。

 　　大理石工作臺具有：精度高、不生銹、、不磁化、不變型、好等優點。大理石工作臺能在重負荷及一般溫度下保持穩定。

 　　是 用的石質材料制成的精密基準測量工具，對儀器儀表、精密工具、機械制件的檢驗，都是 理想的基準面，精密大理石工作臺特別適用于高精度的測量方面。大理石平板取材于地下的巖石層，經過億萬年自然時效，形態極為穩定,不用擔心因常規的溫差而發生變形。由于大理石系非 金屬材料，磁性反應，亦無塑性變形。

 　　經嚴格物理試驗和選擇的花崗石料,結晶細密,質地堅硬，抗壓強度達2290-3750公斤／平方厘米，硬度達莫氏硬度6-7級。大理石工作臺硬度比鑄鐵高2－3倍(相當於hrc＞51)，因此精度保持性好。在使用中巖石工具即使遭重物磕碰，至多掉幾粒石碴而已，而不會像金屬工具那樣，因變形而破壞精度。大理石工作臺優于鑄鐵和鋼材制作的精密測量基準零件，可以獲得高而穩定的精度。

 　　大理石平臺使用標準：1、使用前對平臺進行清理，防止測試時工件劃傷。2、此平臺僅用于彎曲度檢測，不得作為普通平臺進行其他作業，以防損傷平臺表面。3、大理石平板經過定位后不得再進行移動，如確需移動，需重新定位找平。4、測試時需將工件平放至檢驗大理石平臺上，平視工件與大理石平臺接觸面，找較大縫隙處，使用塞尺進行測量。

 　　大理石平板的支架起著一種輔助作用，同時也是 一種保護，可以好的讓大理石工作臺發揮它的優點。做為大理石平臺的輔助工具，大理石平臺的支架的地位是 相當大的，它可以大理石平板的平穩度。大理石平臺支架具有不變形硬度高強，抗磨蝕，而且物理性穩定組織縝密受撞擊晶粒脫落表面不起毛邊不影響其平面精度。