詳細介紹
基礎技術參數:
型 號: FUNCTION 564
n 行 程: X軸 500 mm
Y軸 600 mm
Z軸 400 mm
ˉ 結構型式:活動橋式
ˉ 傳動方式:直流伺服系統 + 預載荷高精度空氣軸承
ˉ 長度測量系統:RENISHAW開放式光柵尺,分辨率為0.5μm
ˉ 機 臺:高精度(00級)花崗巖平臺
ˉ 使用環境:溫度(20±2)℃,濕度55%-65% ,溫度梯度1℃/m,溫度變化 1℃/h
ˉ 空氣壓力:0.4 MPa - 0.5 Mpa
ˉ 空氣流量:120 L/min – 140 L/min
ˉ 整機尺寸(LWH):1.2m X 1.4 m X 2.3 m
ˉ 機臺承重:500 kg ,整機重量:850 Kg
空間測量精度:(2.80+L/300)μm