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詳細介紹
基礎技術參數：
型 號： FUNCTION 564
n 行 程： X軸 500 mm
Y軸 600 mm
Z軸 400 mm
ˉ 結構型式：活動橋式
ˉ 傳動方式：直流伺服系統 + 預載荷高精度空氣軸承
ˉ 長度測量系統：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.5μm
ˉ 機 臺：高精度（00級）花崗巖平臺
ˉ 使用環境：溫度（20±2）℃，濕度55%-65% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h
ˉ 空氣壓力：0.4 MPa - 0.5 Mpa
ˉ 空氣流量：120 L/min – 140 L/min
ˉ 整機尺寸（LWH）：1.2m X 1.4 m X 2.3 m
ˉ 機臺承重：500 kg ，整機重量：850 Kg
空間測量精度：（2.80+L/300）μm
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