三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)功能及三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)特點(diǎn)精密復(fù)雜工件寸法測(cè)量及形位誤差測(cè)定柔性定位：坐標(biāo)找正、旋轉(zhuǎn)、平移及坐標(biāo)存取。幾何元素測(cè)量：點(diǎn)、直線、平面、圓、橢圓、圓柱、球、相交、距離、對(duì)稱(chēng)、夾角。形狀公差：直線度、平面度、圓度、圓柱度。位置公差：平面度、垂直度、平行度、傾斜度、同軸度、位置度。脫機(jī)編輯系統(tǒng)：自學(xué)習(xí)編程、脫機(jī)編程、自檢糾錯(cuò)功能、CAD導(dǎo)入系統(tǒng)。

基礎(chǔ)技術(shù)參數(shù)：
　　　　型  號(hào)： FUNCTION 564
 n 行     程： X軸  500 mm
 Y軸   600 mm
 Z軸  400 mm
 ˉ 結(jié)構(gòu)型式：活動(dòng)橋式
 ˉ 傳動(dòng)方式：直流伺服系統(tǒng) + 預(yù)載荷高精度空氣軸承
 ˉ 長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)：RENISHAW開(kāi)放式光柵尺，分辨率為0.5μm
 ˉ 機(jī)    臺(tái)：高精度（00級(jí)）花崗巖平臺(tái)
 ˉ 使用環(huán)境：溫度（20±2）℃，濕度55%-65% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h
 ˉ 空氣壓力：0.4 MPa - 0.5 Mpa
 ˉ 空氣流量：120 L/min – 140 L/min
 ˉ 整機(jī)尺寸（LWH）：1.2m X 1.4 m X 2.3 m
 ˉ 機(jī)臺(tái)承重：500 kg ，整機(jī)重量：850 Kg
 空間測(cè)量精度：（2.80+L/300）μm