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詳細介紹
描述
| YSi-SP | ||
|---|---|---|
| 對象基板尺寸 | L510mm×W460mm ～ L50mm×W50mm（單軌機型） ※軌機型 | |
| 水平分辨率（FOV尺寸） | 1）25μm / 12.5μm（約50×50mm） 2）20μm / 10μm（約40×40mm） 3）15μm / 7.5μm（約30×30mm） ※均為標準選擇式 | |
| 高度分辨率 | 1µm | |
| 檢查項目 | 錫膏印刷狀態（體積、高度、面積、位置偏移） | |
| 電源規格 | 單相 AC 200/208/220/230/240V ±10% 50/60Hz | |
| 供給氣源 | 無需空氣 | |
| 外形尺寸（突起部除外) | L904×W1,080×H1,478mm | |
| 主體重量 | 約550kg | |
- 規格、外觀如有變動，恕不另行通知。
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