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基本規格
| YSH20 | |
|---|---|
| 対象基板寸法 | L50 x W30 ～ L250 x W200 mm ※ 大可支持L340 x W340 mm 的基板。 詳細內容，請另行咨詢。 |
| 元件供給形態 | 晶片(6/8/12 英寸平板環)、蜂窩狀托盤、料帶盤(寬度8/12/16 mm) |
| 電源規格 | 三相AC 200/208/220/240/380/400/416V ：±10% 50/60Hz |
| 供給氣源 | 0.5MPa 以上、清潔干燥狀態 |
| 外形尺寸(突起部除外) | L 1,400 x W1,820 x H1,515 mm (僅主體部分) L 1,400 x W2,035 x H1,515 mm (帶YWF 晶片供給裝置) |
| 重量 | 約2,470 kg (僅主體部分) 約2,780 kg (帶YWF 晶片供給裝置) |
※ 詳細內容請進行咨詢。
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