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石墨半導體 離子注入 等離子蝕刻用石墨制品

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產品型號

品       牌其他品牌

廠商性質生產商

所  在  地上海市

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更新時間:2024-11-11 15:02:12瀏覽次數:243次

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離子注入用石墨,細顆粒高密度的石墨呈現出很強的抗腐蝕性,即使是在極其惡劣的工況下(如離子束轟擊或等離子體束)也是如此

1.離子注入用石墨,細顆粒高密度的石墨呈現出很強的抗腐蝕性,即使是在極其惡劣的工況下(如離子束轟擊或等離子體束)也是如此。

2.由于離子束的原因,金屬部件暴露在離子注入設備中會造成高的損耗,故這時應用相應的石墨件來作屏蔽罩。

3.我司采用德國西格里石墨,不僅能為各種離子注入機提供石墨屏蔽罩,且提供各種規格具有高耐腐蝕性的高純度石墨電極及離子源。

4.即使在離子轟擊或等離子等極限工作條件下,細粒、高密度石墨也不易受腐蝕。離子轟擊設備的金屬部件要接觸離子束,磨損嚴重,可使用合適的石墨擋板進行保護。

我司不僅提供石墨擋板,還提供適用于各種注入機的電極和離子源,這些石墨產品都具有耐腐蝕和純度高的優點。

 


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