SHINKO神港精機SST200真空泵

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二，薄膜成型設備

  1，多室型濺射成型設備。STM5412，STM5213，STM4415

  2，負載鎖定型濺射成型設備。STL5321，STL5111，STL5311

  3，批量型濺射成型設備。SRV4310，SRV6310，SRV7310

  4，在線型濺射成型設備。

  5，卷取式濺射成型設備。SDR系列

  6，超高真空濺射設備設備。STM2323

  7，研發用濺射成型設備。SRL3320，SDL4320，STL5520

  8，標準氣相沉積設備。AMF-C850SPB，AMF-C1065SPB，AMF-C1275SPB，AMF-C2280SPB

  9，氣相沉積設備。AAMF-C1065SBR，AAMF-C2265SBR

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