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當前位置:成都漢普升科技有限公司>>干法刻蝕系統>> 成都真空廠家 surpass大口徑等離子刻蝕機
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所 在 地成都市
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更新時間:2023-11-13 11:30:11瀏覽次數:442次
成都真空廠家 surpass大口徑等離子刻蝕機
成都真空廠家 surpass大口徑干法刻蝕機裝備
詳情介紹
●本設備主要用于半導體刻蝕,能夠兼容離子束刻蝕和反應離子刻蝕功能,使用氣態化學刻蝕劑與材料產生反應來進行刻蝕,并形成可從襯底上移除的揮發性副產品,通過真空系統排出,特別適合刻蝕熔融石英、硅、光刻膠、聚酷亞胺( PI) 薄膜、金屬等材料。
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