直線電機驅動
直線電機驅動采用了直線電機以及直線光柵尺,定位精度優異。另外,由于不存在機械接觸,所以可以保持高應答性和長期穩定性,提高信賴度。與沙迪克多年研發出來的運動控制器(SMC)相結合,發揮最高性能。
搭載LQW電源
在LQ電源中,直接在導入加工中使用三維實體模型,超越熟練作業者的加工技巧,實現加工 性能的飛躍性提高。由于可從三維實體模型中自動生成最合適的加工條件,能夠大幅度進行無人化、省力化操作。
納米領域的加工
通過本司生產的陶瓷空氣滑塊以及直線電機,搭載了非接觸XY直交工作臺。并通過搭配使用高分解能光柵尺,實現工作臺最小驅動單位10納米。另外,標準搭載了高性能的加工液冷卻裝置,維持穩定的超精密加工。