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首昂光電(上海)有限公司


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晶圓激光切割機

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參   考   價: 288888

訂  貨  量: ≥1  件

具體成交價以合同協議為準

產品型號SA-IR20WD

品       牌其他品牌

廠商性質生產商

所  在  地上海市

聯系方式:黃小姐查看聯系方式

更新時間:2023-03-07 10:07:19瀏覽次數:1004次

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經營模式:生產廠家

商鋪產品:7條

所在地區:上海上海市

聯系人:黃小姐 (市場部)

產品簡介
產地 國產 激光器波長 1064nm
激光器功率 20W 切割厚度 0.1mm
切割速度 150mm/s 驅動方式 伺服電機
售后保修期 12個月 外形尺寸(長×寬×高) 1350*800*1700mm
重復定位精度 0.002mm 重量 680kg

晶圓激光切割機
Wafer Laser Cutting Machine
產品特點:
劃片速度快,效率高,成片率高,切割速度150mm/s

?非接觸式加工,無機械應力,適合切脆性易碎硅晶圓
?CCD快速定位功能,實時同軸監視或旁軸監視功能
?高精度二維直線運動平臺,高精度D D旋轉平臺
?大理石基臺,穩定可靠,熱變形小
?專業操控系統
?全中文操作界面,操作直觀、簡易,界面良好
?無需砂輪刀、藍

詳細介紹

晶圓激光切割機

Wafer Laser Cutting Machine

產品特點:

劃片速度快,效率高,成片率高,切割速度150mm/s


?非接觸式加工,無機械應力,適合切脆性易碎硅晶圓

?CCD快速定位功能,實時同軸監視或旁軸監視功能

?高精度二維直線運動平臺,高精度D D旋轉平臺

?大理石基臺,穩定可靠,熱變形小

?專業操控系統

?全中文操作界面,操作直觀、簡易,界面良好

?無需砂輪刀、藍膜、去離子水等耗材

?高可靠性和穩定性

?劃片質量高,玻璃鈍化層無崩裂和微裂紋。

應用領域:

廣泛應用于集成電路晶圓、GPP晶圓的劃線切割以及T VS晶圓的劃線切割。


產品參數:

設備型號             SA-IR20W        SA-UV15W

激光波長              1064nm                            355nm

激光功率              20w/30w                         5w/10w/17w

*大加工晶圓尺寸3-5寸                         4寸

劃線速度              150mm/s                               70mm/s

劃線線寬      35~45μm                            20~30μm

劃線線深       < 120μm(視材料而定)                50-100μm

系統定位精度   5μm                               5μm

重復定位精度   2μm                               2μm

激光器使用壽命10 萬小時                              1.2 萬小時

設備尺寸         1350*800*1700mm  1350*800*1700mm

整機重量            680kg                             680kg



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