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機械手指

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更新時間:2022-12-16 11:07:20瀏覽次數(shù):1129

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產(chǎn)品簡介

半導體后道工序設備

詳細介紹

特點

    可用于6、8、12寸晶圓的非接觸式End-Effector,非常適合減薄晶圓,廣泛應用于半導體后道工序設備
    通過使用晶圓樣品進行實際的驗證傳輸測試,可以按照客戶的需要,針對不同尺寸,翹曲量,晶圓厚度的任意形狀的晶圓進行機械手指的定制設計

  • 利用伯努利原理的氣流壓力差吸附晶圓
  • 利用橡膠墊和晶圓之間的摩擦力,防止晶圓在傳輸過程中可能發(fā)生的位置偏移
  • 晶圓表面和機械手指的橡膠墊發(fā)生接觸,能夠同時對應不同規(guī)格的晶圓(※特殊情況的組合下,存在無法實現(xiàn)不同尺寸晶圓兼顧的情況),相對于非接觸式機械手指,接觸式機械手指的厚度可以做到更薄
  • 相對于真空吸附方式的手指,伯努利原理機械手指的吸附力會分散到整個晶圓表面,更適合用于減薄晶圓的傳輸

應用設備實例

半導體后道工序設備

規(guī)格
材質(zhì)
表面處理 黑色表面陽極氧化
晶圓固定方式 旋風式真空吸盤提供吸力,橡膠墊(H-NBR)用于晶圓固定
(和晶圓表面接觸部分的材質(zhì)可以定制生產(chǎn))
配套設施 30~80 L/min(隨搬運物的尺寸,厚度變化)

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