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詳細介紹
特點
- 機械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長：330 mm
- Z軸（升降軸）標(biāo)準(zhǔn)長度：60 mm
- 可搬運重量：手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)10 kgf以下
- 手臂關(guān)節(jié)處使用磁流體密封裝置
- 真空密封：采用磁流體密封裝置及波紋管
- 提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝5 µm級過濾器
- 配備動作監(jiān)視器
- 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
- 全軸采用2相步進電機
- S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓
- 可以選配伺服電機規(guī)格
- 手指材質(zhì)：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
- 晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式
- 可以針對被搬運物體種類，設(shè)備布局等要求提供優(yōu)選的手指
可以搬運重量5kg以下的托盤，使用了成本優(yōu)勢明顯的步進電機
應(yīng)用設(shè)備實例
PE-CVD設(shè)備；刻蝕設(shè)備；高溫PVD設(shè)備
規(guī)格
| 被搬運物 | 342mm托盤x2片（具有代表性的尺寸） | ||
|---|---|---|---|
| 手臂 | 旋轉(zhuǎn) | 升降 | |
| 可動范圍* （手臂第3關(guān)節(jié)中心基準(zhǔn)） | 1075 mm | 330度 | 60 mm |
| 搬運速度 (平均速度)* | 250 mm/sec | 90度/sec | 30 mm/sec |
| 搬運速度 (速度)* | 380 mm/sec | 135度/sec | 45 mm/sec |
| 精度* | 65 µm | 0.0056度 | 2.777µm |
| 搬運高度* | 188.5 mm（法蘭安裝面到手指安裝面的高度） | ||
| 重復(fù)性精度 | ±0.2mm以內(nèi) | ||
| 潔凈度 | 可以使用磁流體密封裝置以及顆粒過濾裝置 | ||
| 耐真空度 | 1.33x10-6Pa | ||
| 廠務(wù) | 電源：DC24V±10% 11A | ||
*測試機型：SVCR3330S-060-PM（步進電機規(guī)格）中具有代表性的標(biāo)準(zhǔn)品 (被搬運物體，以及手指形狀的不同上述測量結(jié)果會不同)
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