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詳細介紹
特點
- 機械手臂標準臂長: 240mm, 280mm
- 機械手臂可以單獨對應3個FOUP（280mm臂長）
- 雙手指結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
- 可以選擇單臂規格
- 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式, Ethernet
- 全軸采用值編碼器規格的AC伺服電機, 無需電池
- 晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
- 手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質
- 可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供的手指
與我司以往產品的GTCR相比，減少動作禁止區域、速度限制的影響，提高傳片效率。
（比本公司以往產品提高60%）
規格
| 機械手臂型號 | GTFR5280-320-DM | |
|---|---|---|
| 被搬運物 | ～300mm晶圓 | |
| 晶圓吸附方式 | 真空吸附式 | |
| 機械結構格式 | 水平多關節 | |
| 控制軸 | 5軸 | |
| 電機類型 | 全軸采用AC伺服電機, 無需電池 | |
| 可動范圍 | 被搬送物體中心到達距離 | 升降(Z軸) |
| 893mm | 320mm | 搬運速度(平均) | 手臂(R軸) | 升降(Z軸) |
| 900mm/sec(圓筒動作時) | 320mm/sec | 搬運速度() | 手臂(R軸) | 升降(Z軸) |
| 1,500mm/sec(圓筒動作時) | 540mm/sec | |
| 重復性精度 | ±0.05 mm以內 | |
| 潔凈度 | ISO標準 Class 1 | |
| 廠務 | 電源：単相AC200V±10% 2kVA 真空：優于-75kPa(使用真空吸附式手指) | |
| 質量 | 機械手臂體 大約80kg | |
上述規格為本司使用標準真空吸附方式手指情況下的標準機械手臂規格的一個示例
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