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詳細介紹
精密平臺是源自艾塞路的理念 、實現了超高速?高剛性!! 大大縮短了間隙時間。 產品目錄以外式樣、也可接受咨詢。
- 超高速定位
電機直接連接凸輪驅動方式，100mm/sec - 高剛性?高精度
搭載滾針方式滾針導柱。X?Y方向重復定位精度±1.5µm以下。 - 緊湊設計
電機機內配置，防止電機外部碰擦。
結構?優點
采用高真直性的滾針導柱、X?Y方向重復定位精度±1.5µm以下！！
精密平臺實現「超高速」「高剛性」「高精度」的三位一體。
驅動方式
采用電機直接連接凸輪驅動方式。實現令人驚異的高速定位。（100mm/sec)
緊湊形狀
精密平臺將電機配置在內部。不會發生電機碰擦到外部零件、節省空間設計。 另外、上?下限節點及原點感應器也配置在內部。
精密凸輪
1 采用艾塞路技術精密研磨的凸輪、達到穩定的精度定位 。
導柱方式
2 采用4支高精度?高剛性滾針方式導柱「滾針導柱」。成功兼容剛性和潤滑。
高精度電動缸
3 搭載（株）ハーモニック?ドライブ?システムズ公司的超扁平?高精度AC伺服電動缸FHA-Cmini系列 。 實現了小型 、高出力?高精度 。
用途例
- 各種檢查、測定用定位裝置
- 半導體相關制造裝置
- 太陽能平板相關制造裝置
- 各種連接裝置 など
產品呼稱（型號）
產品陣容／標準式樣
輕巧緊湊的輕量型和高真直性的高精度型2種標準式樣。
尺寸圖／尺寸表
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