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伺服壓機單元:納米伺服壓機

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更新時間:2022-10-08 11:26:23瀏覽次數:378

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產品簡介

可以達到納米水平的輸送控制的超精密伺服壓機

詳細介紹

可以達到納米水平的輸送控制的超精密伺服壓機。

加壓力:
5000N
傳感行程:
100mm
機械行程:
130mm

特點

  1. 重復位置決定精度:±50nm(納米)和超精密伺服壓機。
  2. 線性刻度及閉合回路控制,使得可以實現超精細輸送。
    輸出速度:620nm/sec.
  3. 納米伺服壓機和負載傳感器的組合,使得可以做到極低壓控制(可選)。

用途

  • 膜片制造裝置
  • 壓入
  • 刻印裝置
  • 鉚接
  • 臨界實驗裝置
  • 半切
  • 電子零件的封印
  • 沖壓

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