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技術(shù)文章

圖說光柵式測微儀的應(yīng)用

閱讀:619          發(fā)布時間:2022-9-22
光柵式測微儀也稱光柵測微儀、光柵長度計或光電測長儀,是以光柵副作為測量元件,將線位移量轉(zhuǎn)換為光電信號,經(jīng)電路處理并以數(shù)字顯示位移量的一種長度精密測量儀器(摘自JJF 1682-2017)。




光柵式測微儀是一種接觸式精密傳感器,今天小編以半導(dǎo)體制造工程、汽車制造工程為例,“圖說”光柵式測微儀的測量應(yīng)用和測量原理。

 

 

應(yīng)用之

半導(dǎo)體制造工程

圖片


半導(dǎo)體制造工程示意圖

點擊查看大圖

 

01


輥縫檢測


圖片

02


基板厚度的檢測


圖片

03


芯片平行度的檢測


圖片

04


FPD基板的多點檢測

 

微信圖片_20220510082340.jpg

圖片

05


測量壓接端子的鉚合高度


圖片

06


復(fù)印機(jī)部品的平行度檢測


微信圖片_20220510090857.png

 

 


 

 

應(yīng)用之

汽車制造工程

圖片

汽車生產(chǎn)線示意圖/點擊查看大圖

 

 

01


汽車凸輪軸的位移量測量


圖片

02


汽車剎車盤的多點測量



圖片

03


平面度的測量


圖片

04


高度的測量


 

05


跳動的測量

 

圖片

06


加工刀具長度的測量


 

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