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技術文章

淺談光柵式測微儀

閱讀:882          發布時間:2022-9-21
光柵式測微儀也稱光柵測微儀、光柵長度計或光電測長儀,是以光柵副作為測量元件,將線位移量轉換為光電信號,經電路處理并以數字顯示位移量的一種長度精密測量儀器(摘自JJF 1682-2017)

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光柵式測微儀是一種接觸式精密傳感器,現在小編以半導體制造工程、汽車制造工程為例,“圖說”光柵式測微儀的測量應用和測量原理。

 

 

應用之

半導體制造工程

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半導體制造工程示意圖

點擊查看大圖

 

01


輥縫檢測


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02


基板厚度的檢測


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03


芯片平行度的檢測


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04


FPD基板的多點檢測

 

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05


測量壓接端子的鉚合高度


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06


復印機部品的平行度檢測


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應用之

汽車制造工程

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汽車生產線示意圖/點擊查看大圖

 

 

01


汽車凸輪軸的位移量測量


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