產品名稱：378系列—半導體檢測用顯微鏡：產品介紹FS-70378系列半導體檢測用顯微鏡特點此光學系統最初是為的FS60型(后升級為FS70型)而開發的

產品名稱：378 系列 — 半導體檢測用顯微鏡

：

產品介紹

FS-70
378 系列 — 半導體檢測用顯微鏡
特點
• 此光學系統最初是為的 FS60 型 (后升
級為 FS70 型) 而開發的。它作為測量檢測
半導體器件的顯微鏡是很理想的。
• FS70L 支持3 種YAG 激光波長(1064nm,
532nm, 355nm)， FS70L4 支持 2 種波長(532nm,
266nm)，可在半導體和液晶基板中使用激
光切割和薄膜技術。這就擴大了激光的
使用范圍。然而，使用三豐量具對顯微
鏡的激光系統的性能和安全性，三豐公
司不負責任。我們推薦在選購激光發射
器時應仔細檢查。
• FS70Z 的標準功能有：亮視場，微分干涉
對比 (DIC) 和偏振觀測。FS70L 和FS70L4 不
支持 DIC。
使用內置式轉換器使得長工作距離物鏡
的操作很簡單。
• 極易操作的設計：FS70 采用正像光學系統
(視場中的像與樣品方向相同) 并用橡膠把
手加大微調手輪。