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詳細介紹
【產品名稱】：RESR圓光柵系統
【產品規格】：RESR圓光柵系統
【詳細內容】
雷尼紹RESR圓光柵具有的性能。RESR刻劃精度達±0.5角秒、分辨率達0.004角秒，適用于精度要求的測量場合。
RESR圓光柵
RESR圓光柵是一種是在柱面上直接刻線的一體式不銹鋼圓光柵。20 µm柵距RESR與RGH20和RGH35讀數頭兼容，而40 µm柵距RESR與RGH34和RGH40讀數頭兼容。
刻劃精度達±0.5角秒，系統重復性達0.004角秒
提供多種直徑和刻線數，可與一系列具有行業標準的控制器兼容（直徑從52 mm到550 mm，刻線數從4096到86 400）
具有的錐面安裝方式極大地降低了安裝誤差，簡化了系統集成
10 mm x 10 mm小截面圓光柵
低質量與低轉動慣量的設計增強了動態性能
一體式不銹鋼圓光柵能夠抵御振動、機械和熱撞擊，以及熱負載
為了保證更高的加速度和減速度以及更快的恢復時間，還可提供轉動量極低的"B"截面圓光柵
參考零位（具有可重復的起始位置）由單獨的勵磁塊提供
20 µm柵距圓光柵與UHV兼容型RGH20F讀數頭兼容
RGH20讀數頭的特性與優點
讀數頭結構小巧，能夠提供具有行業標準的模擬和數字輸出
非接觸式設計提供高速、可靠的操作，摩擦和磨損均為零
讀數頭的LED安裝指示燈簡化了安裝過程
具有的光學濾波系統在大多數開放式光柵都不適用的條件下，仍具有優異的信號穩定性
REF接口提供自動增益控制 (AGC)、自動平衡控制 (ABC) 和自動偏移量控制 (AOC)，極大降低了周期誤差 (<±50 nm)
參考零位提供可重復的起始位置，而限位開關則指示軸行程的終點
可提供超高真空兼容型RGH20F版本
將RGH20與其他圓光柵讀數頭進行比較。
RGH34讀數頭的特性與優點
技術規格
系統精度 — 20 µm柵距RESR與RGH20
| 讀數頭尺寸 | 14.8 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (RGH20) (H x L x W) 10.5 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (RGH20F) 9.5 mm x 15.0 mm x 15.0 mm (RGH35) |
| 輸出（分辨率） | RS422：5 µm、1 µm、0.5 µm、0.2 µm、0.1 µm、50 nm、20 nm（RGH20F）、10 nm（RGH20F）、5 nm（RGH20F） 模擬：1 Vpp |
| 細分 | RGH20 — 內置細分電路達50 nm RGH20F — REF接口（x4至x4 000）（可獲得從x4至x4096的二進制細分系數） RGH35 — RGI34接口（x4至x400） |
| 參考零位 | 勵磁塊上的螺栓 |
| 限位開關 | 單限位（RGH40與40 µm柵距RESR具有雙限位） |
| 速度 | 2938轉/分（直徑為?52 mm時為20 µm） |
| 間隙公差 | 0.8 ±0.08 mm |
| 柵尺類型 | 20 µm柵距（與RGH20和RGH35兼容）和40 µm柵距（與RGH34和RGH40兼容）RESR圓光柵 |
| 真空兼容 | 是 — RGH20F和20 µm柵距RESR |
系統精度 — 20 µm柵距RESR與RGH20
| 標稱外徑 (mm)系統精度（角秒） 52 5.6 57 5.1 75 3.9 100 2.9 101 2.9 103 2.8 104 2.8 115 2.5 150 1.9 200 1.4 | 標稱外徑 (mm)系統精度（角秒） 206 1.4 209 1.4 229 1.3 255 1.1 300 1.0 350 0.8 413 0.7 417 0.7 489 0.6 550 0.5 |
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