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激光干涉儀是一種常用的測量儀器，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量，被廣泛用于多個行業中。

激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。

影響激光干涉儀測量精度的主要因素：

1. 激光頻率穩定性：在激光干涉儀中，將激光波長作為長度基準，激光頻率變化直接影響測量結果。

2. 大氣折射率。

3. 死程誤差：在零位時，激光干涉儀兩相干光的還有一段光程差，這一段光程差稱為死程。死程的變化會引起測量誤差，死程誤差是激光干涉儀的一項重要誤差。

4. 余弦誤差：在測定三坐標測量機的定位誤差時，需仔細調整，使光束與滑座的運動方向平等。

5. 脈沖當量誤差：激光干涉儀顯示的最小一個數所對應的量值稱為脈沖當量。

6. 細分誤差：在干涉條紋一個周期內，由插細分不均勻引起的誤差。

7. 阿貝誤差：為避免阿貝誤差，需將角隅棱鏡的頂點調整到所測的直線上，否則由于滑座的角運動誤差引起阿貝誤差。