詳細介紹
PE-25-JW是一款高質量的等離子清洗機,非常容易操作和使用,并能確保每次處理效果的一致性,重復性。該系統帶自動過程能力。所有的定時時間(關閉真空泵,產生等離子,氣體穩定和排氣)都可以編輯進自動運行的序列。PLC鍵盤用于操作員進入,并將相應的序列存儲起來,以確保重復性。一鍵式氣動和開始工作序列。這是我們成本的等離子清洗機,用于適用于小批量生產,研究和開發實驗室,測試實驗室,大學等等離子清洗和表面改性應用
所有PLASMA ETCH等離子清洗采用電容平行板設計,是等離子產生方式。PE-25擁有一個150W 50HZ射頻電源,并帶連續可調功率能力。系統包含一個3.5"X7"水平直接驅動型射頻電極,2.5"的間隔高度。配備PLC控制系統,PE-25帶一個氣體通道,可選第二個氣體通道。處理過程自動化,有一個鋁反應腔。
特性:
l 耐用6061 T6圓形鋁真空腔,尺寸5“直徑X8"深
l 單個3.5"X7"水平“直接接觸“ 射頻電極,2.5"的腔體操作空間
l 150W, 50KHZ連續可調射頻電源,提供400W選項
l 1個旋轉氣體流量計, 0-25毫升/分鐘,帶精確針閥
l 熱電偶真空計 0-1Torr
l PLC微型控制系統,鍵盤輸入界面帶字母顯示。可以存儲一組過程參數,用于自動過程控制。
電氣和尺寸
反應器尺寸:14"W x 14.5"D x 18"H.
運輸重量約52磅
電壓:220VAC
選項
l 5 CFM 2級直驅油真空泵, 適合氧氣(需用kryox泵油)
l 第二個旋轉流量計用于第二種氣體控制器, 0-25cc/min帶精密針閥
l 100W, 13.56MHz射頻發生器帶自動調節
可選VENUS升級選項
PE-25可以提供VENUS升級選項,包括:
l 適用電腦/筆記本的控制程序
使用含有PLASMA ETCH軟件的臺式機/筆記本,用于自動控制系統運行,編輯工作序列,多個狀態存儲以及更*的功能。
l 質量流量控制器
帶一個質量流量控制器。可以配置更多的質量流量控制器。