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深圳市慧爍機(jī)電有限公司>>表面清洗和處理系統(tǒng)>>PE-25-JW小型自動(dòng)等離子清洗機(jī)

小型自動(dòng)等離子清洗機(jī)

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更新時(shí)間:2022-08-17 09:49:44瀏覽次數(shù):629

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PE-25-JW是一款高質(zhì)量的等離子清洗機(jī),非常容易操作和使用,并能確保每次處理效果的一致性,重復(fù)性

詳細(xì)介紹


PE-25-JW是一款高質(zhì)量的等離子清洗機(jī),非常容易操作和使用,并能確保每次處理效果的一致性,重復(fù)性。該系統(tǒng)帶自動(dòng)過程能力。所有的定時(shí)時(shí)間(關(guān)閉真空泵,產(chǎn)生等離子,氣體穩(wěn)定和排氣)都可以編輯進(jìn)自動(dòng)運(yùn)行的序列。PLC鍵盤用于操作員進(jìn)入,并將相應(yīng)的序列存儲(chǔ)起來,以確保重復(fù)性。一鍵式氣動(dòng)和開始工作序列。這是我們成本的等離子清洗機(jī),用于適用于小批量生產(chǎn),研究和開發(fā)實(shí)驗(yàn)室,測(cè)試實(shí)驗(yàn)室,大學(xué)等等離子清洗和表面改性應(yīng)用

所有PLASMA ETCH等離子清洗采用電容平行板設(shè)計(jì),是等離子產(chǎn)生方式。PE-25擁有一個(gè)150W 50HZ射頻電源,并帶連續(xù)可調(diào)功率能力。系統(tǒng)包含一個(gè)3.5"X7"水平直接驅(qū)動(dòng)型射頻電極,2.5"的間隔高度。配備PLC控制系統(tǒng),PE-25帶一個(gè)氣體通道,可選第二個(gè)氣體通道。處理過程自動(dòng)化,有一個(gè)鋁反應(yīng)腔。

特性:

l 耐用6061 T6圓形鋁真空腔,尺寸5“直徑X8"深

l 單個(gè)3.5"X7"水平“直接接觸“ 射頻電極,2.5"的腔體操作空間

l 150W, 50KHZ連續(xù)可調(diào)射頻電源,提供400W選項(xiàng)

l 1個(gè)旋轉(zhuǎn)氣體流量計(jì), 0-25毫升/分鐘,帶精確針閥

l 熱電偶真空計(jì) 0-1Torr

l PLC微型控制系統(tǒng),鍵盤輸入界面帶字母顯示。可以存儲(chǔ)一組過程參數(shù),用于自動(dòng)過程控制。

電氣和尺寸

反應(yīng)器尺寸:14"W x 14.5"D x 18"H.

運(yùn)輸重量約52磅

電壓:220VAC

選項(xiàng)

l 5 CFM 2級(jí)直驅(qū)油真空泵, 適合氧氣(需用kryox泵油)

l 第二個(gè)旋轉(zhuǎn)流量計(jì)用于第二種氣體控制器, 0-25cc/min帶精密針閥

l 100W, 13.56MHz射頻發(fā)生器帶自動(dòng)調(diào)節(jié)

可選VENUS升級(jí)選項(xiàng)

PE-25可以提供VENUS升級(jí)選項(xiàng),包括:

l 適用電腦/筆記本的控制程序

使用含有PLASMA ETCH軟件的臺(tái)式機(jī)/筆記本,用于自動(dòng)控制系統(tǒng)運(yùn)行,編輯工作序列,多個(gè)狀態(tài)存儲(chǔ)以及更*的功能。

l 質(zhì)量流量控制器

帶一個(gè)質(zhì)量流量控制器。可以配置更多的質(zhì)量流量控制器。



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