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詳細介紹
IMS公司生產的三坐標測量機系列產品有生產型和介于生產型和計量型之間的精密型和超精密型，其測量范圍為：X=300～4250mm，Y=300～6000mm，Z=300～2500mm。
Zeuss三坐標測量機
測量范圍：
X：1500-3000mm
Y：1500-6000mm
Z：1000-2500mm
單軸示值精度：5+L/200um
移動速度：15m/min
測量速度：3m/min
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