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TTS系列可以用一臺機(jī)器人在沒有走行裝置的情況下對應(yīng)從2FOUP到3FOUP的EFEM。具備川崎自主開發(fā)的驅(qū)動部分，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度、高剛性的動作。 同時，由于采用了上下軸伸縮式的結(jié)構(gòu)，因此無論是想將物品搬至高處或是低處，此設(shè)備都能做到。
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更新時間：2022-07-07 17:53:10瀏覽次數(shù)：639
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