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TTS系列可以用一臺機器人在沒有走行裝置的情況下對應從2FOUP到3FOUP的EFEM。具備川崎自主開發的驅動部分，能夠實現高精度、高剛性的動作。 同時，由于采用了上下軸伸縮式的結構，因此無論是想將物品搬至高處或是低處，此設備都能做到。
| 川崎重工管理（上海）有限公司 |
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更新時間：2022-07-07 17:53:10瀏覽次數：636
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