產(chǎn)品簡介 NTS系列可以用一臺機(jī)器人在沒有走行裝置的情況下對應(yīng)從2FOUP到3FOUP的EFEM。具備川崎自主開發(fā)的驅(qū)動(dòng)部分,能夠?qū)崿F(xiàn)高精度、高剛性的動(dòng)作。