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川崎重工管理（上海）有限公司

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更新時(shí)間：2022-07-07 17:43:26瀏覽次數(shù)：428

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產(chǎn)品簡介

NTS系列可以用一臺機(jī)器人在沒有走行裝置的情況下對應(yīng)從2FOUP到3FOUP的EFEM。具備川崎自主開發(fā)的驅(qū)動(dòng)部分，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度、高剛性的動(dòng)作。

應(yīng)用分類晶圓搬運(yùn)

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