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詳細(xì)介紹
TONiC與Ti介面結(jié)合，在線性和旋轉(zhuǎn)應(yīng)用中，均可達(dá)到10 m/s的速度和低至1 nm的解析度。TONiC系統(tǒng)安裝快速簡便，提供寬鬆的安裝公差，按下按鈕即可進(jìn)行校正。TONiC的動態(tài)訊號處理功能改善訊號穩(wěn)定性，維持一般位於±30 nm以內(nèi)超低的細(xì)分誤差，有助於實現(xiàn)優(yōu)異的運動控制效能。
- 低功耗讀頭。
- 120°C烘焙溫度。
- 極低氣體釋放率。
- 非接觸式光學(xué)尺系統(tǒng)。
- 極低的細(xì)分誤差(SDE) ±30nm。
- 10 mm×35 mm×13.5 mm（H×L×W）。
- 類比或數(shù)位輸出兼容，數(shù)位解析度可達(dá)1nm。
- 標(biāo)配真空環(huán)境專用電纜，有效隔離射頻干擾(RFI)。
- 自動增益控制（AGC）確保信號強度長期恆定的可靠性。
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