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詳細(xì)介紹
AXYR 三軸一體式精密電動(dòng)滑臺(tái)
AXYR 三軸一體式精密電動(dòng)滑臺(tái)
| 型號(hào) | AXYR60-A2PR-ND | AXYR80-A2PR-ND | AXYR120-A2PR-ND |
| AXYR60-A2PL-ND | AXYR80-A2PL-ND | AXYR120-A2PL-ND | |
| 臺(tái)面尺寸 | Ø60 | Ø80 | Ø120 |
| 移動(dòng)行程X軸 | ±7.5mm | ±12mm | ±15mm |
| 移動(dòng)行程Y軸 | ±7.5mm | ±12mm | ±15mm |
| 移動(dòng)行程θ軸 | ±8.5° | ±10° | |
| 傳動(dòng)方式 | 螺桿傳動(dòng) | ||
| 軌道XY軸 | 交叉滾柱導(dǎo)引式 | ||
| 軌道θ軸 | 滾珠循環(huán)式 | ||
| 滑臺(tái)材質(zhì)/表面處理 | 鋁合金/黑色陽極處理 | ||
| 精度等級(jí) | P:精密型 | ||
| 馬達(dá)方向 | R: 右側(cè)安裝 / L:左側(cè)安裝 | ||
| XY軸解析度(脈沖)Full/Half | 5μm / 2.5μm | ||
| θ軸解析度(脈沖)Full/Half | 0.0056°/0.0028° | 0.0047°/0.0023° | 0.0034°/0.0017° |
| XY軸速度(全步級(jí)) | 10mm/sec | ||
| θ軸速度(全步級(jí)) | 8°/sec | ||
| XY軸單向定位精度 | 10μm | ||
| XY軸反復(fù)定位精度 | ±1μm | ||
| θ軸單向定位精度 | 0.05° | ||
| θ軸反復(fù)定位精度 | ±0.01° | ||
| 荷重 | 6kgf | 10kgf | 25kgf |
| XY軸空轉(zhuǎn) | 2μm | ||
| θ軸空轉(zhuǎn) | 0.01° | ||
| 平行度 | 20μm | 30μm | |
| 運(yùn)動(dòng)同心度 | 20μm | ||
| 運(yùn)動(dòng)平行度 | 10μm | 15μm | |
| 馬達(dá)類型 | 2MS-N28D32A | 2MS-N28D45A | |
| 馬達(dá)廠牌 | GMT | ||
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