GAS03-1000CC

1000x1000

1200x1200

±15x±15

±2°

160

UP：±1 
P：±5

GAS03-1000RS

1000x1000

1200x1200

±15x±15

±2°

200

UP：±1 
P：±5

GAS03-1500CC

1500x1500

1700x1700

±15x±15

±2°

160

UP：±1 
P：±5

GAS03-1500RS

1500x1500

1700x1700

±15x±15

±2°

200

UP：±1 
P：±5

♦ 採用了劃時代性模組結構的超薄型平臺

在基座、工作臺之間的四端平面裝上組合了MINI STAGE XYθ軸滑臺組和特殊交叉滾柱軸承的模組之*性，實現了超薄型結構。

♦ 高剛性、高精度

對于構成模組的MINI STAGE XYθ軸滑臺組的特殊交叉滾柱施加了預壓，達到高精度、高剛性的結構。

♦ 超薄型、輕量化、中空結構

採用XYθ模組化結構，實現了無中座、薄而輕的機構，可作為光學式檢查裝置或導通測試時使用。

♦ 潤滑系統

在各種運動軌道加入潤滑系統，確保潤滑脂補充，提高對位平臺使用的壽命及精度。

♦ 尺寸齊全 適用各種機型運用

工作臺面尺寸口100mm~口1500mm，為了可以對應更大的精度荷載，可藉由增加從動模組之數量來達成。

♦  面板貼合機

♦  面板貼膜機

♦  網版及3D網版印刷

♦  玻璃側角及磨邊設備

♦  Wafe對位設備

♦  P.C.D曝光設備

♦  軟體裁切設備

♦  半導體設備

結構說明

動作原理