詳細介紹
手及夾頭機器人外圍設備清單
晶片?液晶卡爪
紙頁型晶片卡爪 WHA系列
WHA
可根據用戶的需求規格設計并定制,相關事項請另行咨詢。因為是邊緣夾具,不會與內外面接觸。??
■固定、搬運。
采用夾緊搬運方式,可適用于各種搬運形態。可有效地防止裝置高速化導致的芯偏移現象。
■不會接觸晶片內外面。
只接觸邊緣部分,不會擔心以夾緊或吸附方式搬運時留下痕跡。
■適用于1級潔凈室。
■WHA系列
只設側臂的單側驅動式邊緣夾具。
型號表現方法
規格
型號 | WHA-200AS | WHA-300AS | WHA-450AS | |
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搬運工件 | 晶片 | |||
工件尺寸 | φ200 | φ300 | φ450 | |
搬運方式 | 邊緣夾具 | |||
搬運數量 | 1片 | |||
驅動方式 | 閉合方向 | 彈簧(夾具方式) | ||
開啟方向 | 真空壓力-60KPa ~ 95KPa(采用負壓氣缸) | |||
工作行程 | 10mm(夾7mm 鉗3mm) | |||
抓力 | 2.4N ~1.9N | 約7N | ||
潔凈度 | FED規格 1級(需吸附) | |||
牙叉(fork)材質 | CFRP | |||
緊固件?擋片?墊板 | PEEK | |||
主體質量 | 約0.4kg | 約0.5kg | 約1.7kg | |
選項 | 開閉確認傳感器 |
下載
目錄(規格,尺寸) | DXF數據 | STEP,IGES數據 | |
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WHA-200AS-1 | ![]() | 需要3D數據請向廠家咨詢 | |
WHA-300AS-1 | 需要3D數據請向廠家咨詢 | ||
WHA-450AS | 需要3D數據請向廠家咨詢 |