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詳細介紹
手及夾頭機器人外圍設備清單
晶片?液晶卡爪
紙頁型晶片卡爪 WHA系列
WHA
可根據用戶的需求規格設計并定制，相關事項請另行咨詢。因為是邊緣夾具，不會與內外面接觸。??
■固定、搬運。
采用夾緊搬運方式，可適用于各種搬運形態。可有效地防止裝置高速化導致的芯偏移現象。
■不會接觸晶片內外面。
只接觸邊緣部分，不會擔心以夾緊或吸附方式搬運時留下痕跡。
■適用于1級潔凈室。
■WHA系列
只設側臂的單側驅動式邊緣夾具。
型號表現方法
規格
| 型號 | WHA-200AS | WHA-300AS | WHA-450AS | |
|---|---|---|---|---|
| 搬運工件 | 晶片 | |||
| 工件尺寸 | φ200 | φ300 | φ450 | |
| 搬運方式 | 邊緣夾具 | |||
| 搬運數量 | 1片 | |||
| 驅動方式 | 閉合方向 | 彈簧（夾具方式） | ||
| 開啟方向 | 真空壓力-60KPa ~ 95KPa(采用負壓氣缸) | |||
| 工作行程 | 10mm（夾7mm 鉗3mm） | |||
| 抓力 | ２．４Ｎ ～１．９Ｎ | 約7N | ||
| 潔凈度 | FED規格 1級（需吸附） | |||
| 牙叉（fork）材質 | CFRP | |||
| 緊固件?擋片?墊板 | PEEK | |||
| 主體質量 | 約0.4kg | 約0.5kg | 約1.7kg | |
| 選項 | 開閉確認傳感器 | |||
下載
| 目錄（規格，尺寸） | DXF數據 | STEP，IGES數據 | |
|---|---|---|---|
| WHA-200ＡＳ-1 |  | 需要3D數據請向廠家咨詢 | |
| WHA-300ＡＳ-1 | 需要3D數據請向廠家咨詢 | ||
| WHA-450ＡＳ | 需要3D數據請向廠家咨詢 |
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