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詳細介紹
MARTINTRIER X射線檢測系統，使用的平板探測技術，樣品平臺通過
伺服電機操控，可實現產品的安全無碰撞檢測。產品通過智能化軟件，可以
實現樣品的快速簡單的全自動檢測。 X射線檢測系統在晶圓制造、半導體、
表面貼裝、SMT印刷電路板裝配、汽車電子、醫療、研究所等領域得到廣泛
應用。
設備特點
主機架構部分
符合人體工程學工業設計理念 可傾倒懸臂，便于多方位觀測，抽拉式平臺設計便于維護.
X射線管部分
采用日本濱松或德國YL射線源，密閉管&開放管透射式設計， 750nm,950nm,3um,5um分辨率可選
運動部分
自主研發的六軸連動自動控制系統 使用新型Ethercat總線運動系統， 全伺服電機控制、機械運動防碰撞保護
高壓發生器部分
高壓有80KV ,90KV, 100KV,130KV,160KV, 240KV
軟件部分
軟件獨立開發，擁有多項軟著 多階氣泡測量、序列圖生成
探測器部分
CMOS平板探測器幀頻：10,30,45,60,90幀 (可選)
技術參數
| 項目 | 描述 |
| 幾何放大倍率 | 300-2000倍（可選） |
| 系統放大倍數 | 6000倍 |
| 樣品檢測尺寸 | 650*550mm |
| 檢測區域 | 500*450mm |
| 探測器旋轉角度 | 0~65度 |
| 樣品臺承重 | 5~10KG |
| 運動軸數 | 6軸 |
| 驅動馬達 | AC伺服馬達 |
| 人機操作及資料存儲 | PC系統 |
| 操作系統 | WIN 10 64位操作系統 |
| X射線安全性 | 泄漏量< 1 uSv/hr (符合國際安全標準） |
| 光管類型 | 開管或閉管可選 |
| 分辨率 | 0.75/0.95/3/5um（可選） |
| 功率 | 0~50瓦（可選） |
| 電壓 | 80KV、90KV、100KV、130KV 、160KV、240KV可選 |
| 靶材質 | 鋁靶/鎢靶/金剛石靶 |
| 探測器類型 | CMOS |
| 像素分辨率 | 200萬像素 |
| 幀率 | 10~90幀/秒可選 |
| 灰度值 | 16 Bit，>65000 greyscale levels |
| 顯示器 | 23.8英寸高清不頻閃雙顯示器 |
| 主機電源消耗 | 1000W |
| 機臺尺寸 (mm) | 1564W×1609D×1985H |
| 主機重量 | 2000KG |
外觀尺寸
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