MEMS 光衰減器

產品特性
● 高可靠性
● 高穩定性
● 低插入損耗
● 反應迅速
● 體積小

用途
● 傳輸光功率高
● 光路功率平衡；
● 信道傳輸均衡；
● 光自動增益調節
● 光接收機的保護
● 光路通斷

• VOA的優勢、類型

• MEMS Shutter型VOA

• MEMS微鏡型VOA

• MEMS微鏡型VOA中的WDL問題

• MEMS微鏡型VOA的WDL優化

MEMS（Micro Electro Mechanical System，微機電系統）技術被廣泛應用于光纖通信系統中，MEMS技術與光學技術的結合，通常稱作MOEMS技術。常用的MOEMS器件包括光衰減器VOA、光開關OS、可調光學濾波器TOF、動態增益均衡器DGE、波長選擇開關WSS和矩陣光開關OXC。

VOA在光纖通信系統中常用于光功率均衡，在各種技術方案中，MEMS VOA具有尺寸小、成本低和易于制造的優勢。的MEMS VOA有兩類：MEMS Shutter型和MEMS微鏡型，前者通常以熱效應驅動，后者通常以靜電力驅動。

MEMS Shutter型VOA

基于MEMS Shutter的VOA結構如圖1所示，MEMS Shutter被插入兩根光纖之間的光路，衰減量取決于被阻擋的光束截面大小。在實際應用中，這種VOA也可以設計成反射型。