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詳細介紹
可實現對氧化物晶圓的高品質連續加工
- 電鑄結合劑
加工對象: Oxide wafers (LiTaO3, etc.), etc
采用了于氧化物晶圓加工的磨耗性能接合劑。能夠對至今為止連續加工困難的氧化物晶圓實施穩定且高品質的連續切割加工。另外，在鉭酸鋰（LiTaO3)晶圓的DBG加工工藝中，有望獲得更加穩定的加工效果。
- 可對氧化物晶圓實施高品質且穩定的加工
- 可大幅度減少加工中的間隙磨刀頻率， 充分發揮高速連續加工的特點
實驗結果
加工品質比較
表面崩缺-chipping比較
| Workpiece | LiTaO3 Φ4" ｘ 350 µmt |
| Depth | 350 µm (full cut) |
| Blade | ZHFX-SD2000-C1-50 DF NBC-ZH105L 27HEDF |
切割方向
主軸電流值比較
上圖為在LiTaO3晶圓加工過程中測得的電流值。ZHFX系列主軸的電流值并沒有隨著切割線數量的增加而上升，可實現穩定加工。
| Workpiece | LiTaO3 Φ4" ｘ 350 µmt |
| Depth | 150 µm (full cut) |
| Blade | ZHFX-SD1700-C1-50 DF NBC-ZH106L 27HEDF |
技術規格
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